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        應用說明

    
    CORESIC? 碳化硅陶瓷材料的高強度、高硬度、高彈性模量、高導熱系數、低熱膨脹系數等，以及良好的比剛度和光學加工性能，特別適合用于半導體裝備中使用的精密陶瓷結構件。

    
        應用場景



    
    
    
        
    
    
    
            
        光刻機設備
            

    
    
    
    光刻機設備

    

    

    
    
    
    
    
        
            
    
        
    
    

    
    
    
    


    
 
    
    
    

    


        
    
            
    
    
    

    

    


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