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        應用說明

    
    CORESIC? 碳化硅陶瓷材料的優良力學性能，如高強度、高硬度、高彈性模量等，特別適合用于光電照明外延片制造中的ICP刻蝕工藝, PVD工藝，RTP工藝，CMP工藝用載盤等精密陶瓷結構件。

    
        應用場景



    
    
    
        
    
    
    
            
        LED外延片
            

    
    
    
    LED外延片

    

    

    
        
    
    
    
            
        LED
            

    
    
    
    LED

    

    

    
    
    
    
    
        
            
    
        
    
    

    
    
    
    


    
 
    
    
    

    


        
    
            
    
    
    

    

    


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